Sapphire Waferin suora liimausmenetelmä ja prosessi safiiripaineherkälle rakenteelle

1. Esillä oleva keksintö kuuluu mems-tekniikan alaan, erityisesti menetelmään safiiri-, paineherkän rakenteen omaavien safiirikiekkojen suoraa liittämistä varten.

Taustatekniikka:

2. Perinteisten puolijohdepaineanturien käyttölämpötila on yleensä alle 600 astetta. Pietsoresistiivisen paineanturin maksimikäyttölämpötila on 600 astetta, soi-paineanturin maksimikäyttölämpötila on alle 500 astetta ja piisafiiripaineanturin suurin käyttölämpötila. Lämpötila 350 astetta. Sähköisiä paineantureita on vaikea käyttää korkeammissa lämpötiloissa.

3. Tällä hetkellä ulkomaille on ilmestynyt safiirisiruihin perustuvia kuituoptisia paineanturituotteita, kuten brittiläisen oxsensis-yhtiön wave-phire dpt950 kuituoptinen paineanturi, maksimi käyttölämpötila voi nousta 600 asteeseen ja anturin etupää voi saavuttaa 1000 astetta. Safiirisiruihin perustuvien optisten kuitujen paineanturien tutkimustuloksia ei kuitenkaan ole raportoitu Kiinassa. Kiinalaisessa patenttiasiakirjassa cn103234673 esitetään korkeaa lämpötilaa kestävä paineanturin mikronanorakenne, joka sisältää: piikarbidikalvon, heijastavan kalvon, puoliheijastavan kalvon, sidoskerroksen, piikarbidisubstraatin, kapselointikerroksen ja safiirin optinen kuitu; heijastava kalvo on pinnoitettu Piikarbidikalvon keskellä puoliheijastava kalvo päällystetään safiirikuidun päähän, sidoskerros (piidioksidi) sijaitsee piikarbidikalvon ja piikarbidisubstraatin välissä, ja safiirikuitu liitetään piikarbidisubstraattiin kapselointikerroksen (korkean lämpötilan keraaminen liima) kautta. Yllä olevan paineanturin valmistusprosessi on muodostaa Fabry-Parot-häiriöontelo käyttämällä piikarbidikalvolle päällystettyä heijastavaa kalvoa ja safiirioptisen kuidun päähän pinnoitettua puoliheijastavaa kalvoa paineen havaitsemisen toteuttamiseksi korkeassa lämpötilassa. lämpötilaympäristö.

4. Tällä hetkellä kotimainen safiirikiekkojen (kiekkotason) suorasidontaprosessi on vielä teoreettisessa tutkimusvaiheessa, eikä kypsää safiirikiekkojen (kiekkotason) suorasidontaprosessia ole vielä olemassa. Kiinassa kiekkotason sidos on yleensä suunnattu piipohjaisille materiaaleille, ja sidoslämpötila on alle 500 astetta, kuten pii-pii-sidos, pii-lasi-anodinen sidos jne. Kiinalainen patenttiasiakirja cn 105236350 a esittää suoran sidoksen. menetelmä safiiripaineherkille siruille, vain lämpötila on 1350 astetta, ei paineen (paineen) hallintaa liimausprosessin aikana eikä lämpötilan ja paineen kytkentäohjausta.

Ota meihin yhteyttä:

Email: zhang@pride-cnc.com

Puh: plus 86-755-23699351

Mob: plus 8618666663894