16SepPore array -kerrosrakenne, esipinnoitusmenetelmä, kalvonmuodostusmenetelmä ...Pore array -kerrosrakenne, esipinnoitusmenetelmä, kalvonmuodostusmenetelmä ja niihin liittyvät laitteet ja prosessiteknologian toteutuselementit
Katso lisää
16SepReikämatriisin kerrosrakenne, esipinnoitusmenetelmä, kalvonmuodostusmenetelmä...Reikämatriisin kerrosrakenne, esipinnoitusmenetelmä, kalvonmuodostusmenetelmä ja niihin liittyvät laitteet ja prosessit
Katso lisää
16SepNanokomposiittijärjestelmä ja menetelmä nanomateriaalien, teknisten toteutuse...Tekniset toteutuselementit: 5. Esillä olevalla keksinnöllä ratkaistava tekninen ongelma on: tarjota nanometriin integroitu järjestelmä ja menetelmä na
Katso lisää
16SepNanokomposiittijärjestelmä ja menetelmä nanomateriaalien tutkimiseenNanokomposiittijärjestelmä ja menetelmä nanomateriaalien tutkimiseen
Katso lisää
16SepPakkausrakenne, substraatti, pakkausmenetelmä ja prosessitekniikan toteutusel...Pakkausrakenne, substraatti, pakkausmenetelmä ja prosessitekniikan toteutuselementit
Katso lisää
16SepPakkausrakenne, substraatti, pakkausmenetelmä ja -prosessiPakkausrakenne, substraatti, pakkausmenetelmä ja -prosessi
Katso lisää
16SepSivuttaiseen komposiittidielektriseen kalvoon perustuva MEMS-mikrolevy ja sen...Sivuttaiseen komposiittidielektriseen kalvoon perustuva MEMS-mikrolevy ja sen valmistusmenetelmä ja tekniset toteutuselementit
Katso lisää
16SepEräänlainen MEMS-mikrolevy, joka perustuu lateraaliseen komposiittidielektris...Eräänlainen MEMS-mikrolevy, joka perustuu lateraaliseen komposiittidielektriseen kalvoon ja sen valmistusmenetelmään
Katso lisää
16SepCMOS-julkaisun jälkeisen menetelmän tekniset toteutuselementit MEMS-vektorihy...CMOS-julkaisun jälkeisen menetelmän tekniset toteutuselementit MEMS-vektorihydrofonien poikkisädeherkälle rakenteelle:
Katso lisää
16SepTeknisen toteutuksen elementit CMOS-julkaisun jälkeisen menetelmän elementit ...Teknisen toteutuksen elementit CMOS-julkaisun jälkeisen menetelmän elementit poikkisädeherkille rakenteille MEMS-vektorihydrofoneille
Katso lisää
16SepRistisädeherkkä rakenne CMOS-vapautuksen jälkeinen menetelmä MEMS-vektorihydr...Ristisädeherkkä rakenne CMOS-vapautuksen jälkeinen menetelmä MEMS-vektorihydrofonille
Katso lisää
16SepMikrofluidilaitteiden käyttöjärjestelmien valmistusmenetelmätMikrofluidilaitteiden käyttöjärjestelmien valmistusmenetelmät
Katso lisää












